易流细粉聚醚醚酮 VICTREX 150UF10 

PEEK材料的型号选择与性能优势

 Victrex 450G、Solvay KT-880等国际 PEEK型号，同时我们正浩针对半导体工艺需求开发了自主改性配方ZH-PEEK-K90系列。这些材料型号的共同特点是：

超高纯度：符合SEMI F57标准，金属离子含量低于0.1ppm，避免晶圆污染；

耐高温性：连续使用温度达260℃（如450G型号），短时耐受300℃高温；

化学惰性：耐受强酸（氢氟酸除外）、强碱及有机溶剂（Solvay KT-880表现尤为突出）；

低释气性：在真空环境下释气率＜0.01%，避免沉积污染（ZH-PEEK-K90）特有优势）。

这些特性使PEEK晶圆盒在7nm以下制程的晶圆制造中展现出不可替代的价值。